真空燒結爐是可進行真空燒結的的工藝，是半導體專用設備中一種新穎的工藝裝備，可用于其他領域內的真空熱處理工藝。當燒結爐出現冷卻水異常怎么辦? 　　發現工業爐出現異常時，要先確認加熱電源是否已經停止。如果真空燒結爐爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應立即采取一些應急措施。如能保證水量，繼續保持真空;如不能則保持原狀，確認設備冷卻下來。 　　如果冷卻水出現異常時，真空燒結爐處于停止狀態，則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時，冷卻水就會停止，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會被損壞。 　　因此，在使用高溫熱處理爐、真空速凝爐等此類工業爐時，一定要注意冷卻水是否異常，要時常檢查設備，做好平日的維護，才能延長設備使用年限。

　　真空燒結爐是一種感應加熱工業爐，主要用于合金、粉沫冶金等行業生產各種粒度的碳化鎢粉、碳化鈦粉、碳化釩粉等金屬粉沫或復合金屬粉沫。 　　其具有2300℃超高溫爐體，可滿足細、中、粗顆粒料WC粉、復合料碳化加熱。真空燒結爐主要采用智能控溫系統，全自動、高精度，完成測溫控溫。 　　除了采用純水冷卻系統，流量監控系統，真空燒結爐還采用了高性能中頻接觸器，可以對爐體進行自動轉換 。 　　主要技術參數： 　　1、*使用溫度：1800℃、2300℃ 　　2、高溫區容積：0.01m3、0.02m3、0.03m3、0.05m3、0.1m3、0.15m3、0.2m3、0.3m3 　　3、爐內工作氣氛：氫氣、氮氣、惰性氣體等 　　4、溫度均勻度：≤±10℃ 溫度測量：遠紅外線光學測溫測溫范圍800~2400℃或1000~3000℃;測溫精度1%。 　　5、溫度控制：程序控制、手動控制; 控溫精度：±1℃ 　　6、極限升溫速度：200℃/分鐘