1、請參閱附圖提供的真空爐烘箱配置。安裝位置和民用條件為，選擇設備的***安裝位置并進行土建施工。安裝地點必須無煙，環境清潔，風干，不應與其他設備放在一起，保持環境溫度在10至35°C之間，地板光潔。 　　2、安裝帶有石墨和水冷電極的電加熱元件時， 　　采取石墨部件時要非常小心，以免損壞； 　　灣可靠地擰緊螺栓以實現良好的電氣接觸。不要用太大的力來防止線頭斷裂。 　　3、根據真空系統圖放置真空系統，組裝并連接到爐體。組裝時在O形圈上涂抹一層薄薄的真空潤滑脂，并均勻擰緊法蘭。 　　4根據水冷系統示意圖，進水管和排水管分別連接到爐子的排水口、，以提供壓力為0.1-0.15 MPa的水源，溫度不高低于15℃且不高于30℃，優選提供循環。水、抗氧化水。 　　5、提供***小壓力為0.5 MPa的氣動空氣源。工業氮氣，如壓縮空氣，可用于制備“三大”氣動部件（如、油霧、減壓器濾水器）。 　　6、按下充氣系統圖將管道連接到灌裝線，建議提供純度為99.99％-99.99％的高純度氮氣作為再灌注器。 　　7、根據電接線圖，將電源連接到相應的電觸頭，檢查電壓電源，連接在控制箱，電纜和流漿箱和身體之間烤箱。 　　8、安裝剩余的組件，包括導管測量儀器、。 　　9。爐體和、控制箱接地，接地電阻為4歐姆，儀表電纜和真空表也必須接地。

　　氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導體元器件及電力整流裝置的燒結工藝，可進行真空燒結、氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中新穎的技術裝備，設計思路新穎，操作方便，結構緊湊，一臺設備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護的情況下，利用中頻感應加熱原理，使位于盤管內的鎢坩堝達到高溫，通過熱輻射傳導到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進行成型燒結。安裝爐子的場地應符合真空衛生要求，周圍空氣清潔干燥，通風條件好，工作場所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內所有零部件及部件是否完好、完好?！　?、控制柜安裝固定在相應的基礎上?！　?、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤?！　?、檢查電器活動部位活動自如，無卡死現象?！　?、絕緣電阻不應小于2萬億歐姆?！　?、氣相沉積爐各閥門必須在關閉位置?！　?、控制電源開關置于斷開位置?！　?、手動調壓旋鈕逆時針轉動頭?！　?、將報警按鈕置于打開位置?！　?0、平面圖完成設備循環冷卻水連接時，建議用戶在氣相沉積爐總進出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環水故障或斷電引起密封圈燃燒。