氣相沉積爐整體結構采用井式碳化爐結構。主要由爐體系統、控制系統、真空系統、冷卻系統、進氣系統、過濾系統、操作平臺等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結構，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結構，夾層內設置蛇形導流板，既可以引導水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力，爐體上設置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側壁上。 　　加熱及保溫層，發熱體采用帶式合金發熱體，分三個加熱區，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復合保溫結構，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強度，采用雙真空結構。爐膽內外同時抽真空，并設置手動及自動壓差閥?？紤]真空放電現象，采用低電壓大電流的供電方式。

　　真空燒結爐是在真空的環境中對被加熱的物品進行保護性燒結的一類爐子，其加熱方式是有很多種的，例如，電阻加熱、感應加熱、微波加熱等。 　　據使用者了解，在抽真空后充氫氣的保護狀態下，真空燒結爐利用中頻感應加熱的原理，使處于線圈內的鎢坩堝產生高溫并通過熱輻射傳導到工作上。適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢鉬及其合金的粉末成型燒結。同時，真空燒結爐在真空或保護氣氛條件下利用中頻感應加熱的原理，使硬質合金刀頭及各種金屬粉末壓制體實現燒結的成套設備，是為硬質合金、金屬鏑以及陶瓷材料的工業生產而設計的。 　　此外，真空燒結爐現如今被廣泛的應用于碳化硅陶瓷的反應燒結工藝，同時也可用于特種陶瓷材料，硬質合金，陶瓷金屬復合材料以及難熔金屬組成的合金材料的高溫真空燒結。針對一些材料的高溫燒結工藝使得真空燒結爐具備不錯的耐熱性、絕緣性以及可靠性的設計。新型電極結構杜絕了高溫爐電極的漏水現象，并且可以加熱系統中的易損部件，也更便于維修和更換。